超臨界干燥是一種以^和可控的方式去除液體的過程，其具體的干燥過程如下：
  
  當液體中的物質穿過液體到氣體的邊界時，液體以有限的速率變成氣體，而液體的量減少，當這種情況發生在異質環境中時，液體中的表面張力會拉動液體可能與之接觸的任何固體結構。細胞壁，硅膠中的枝晶和微機電裝置的微小機械等精密結構，隨著液-氣-固結的移動，往往會被這種表面張力破壞。
  
  為了避免這種情況，可以通過兩個可能的從液相到氣相的備用路徑引入樣品，而不會在相圖上穿過液-氣邊界。在冷凍干燥中，這意味著向左轉。然而，即使通過固-氣邊界，一些結構也被破壞。
  
  另一方面，超臨界干燥在高溫高壓側向右轉，這種從液體到氣體的路線不會穿過任何相界，而是穿過超臨界區域，在那里氣體和液體之間的區別不再適用，在干燥的臨界點，液相和氣相的密度變得相等。